




電子工業(yè)生產(chǎn)中所需的高純氣體
隨著現(xiàn)代分析儀器的發(fā)展,國(guó)外對(duì)高純氣體的分析經(jīng)歷了離線分析(off-line)、在線分析(on-line)和原位分析(in-situ)三個(gè)階段。我國(guó)在高純氣體分析方面,也已進(jìn)入在線分析階段,且分析檢測(cè)的靈敏度高,可以實(shí)現(xiàn)氣體中痕量金屬雜質(zhì)的分析測(cè)試 。然而,由于一些氣態(tài)樣品不能直接導(dǎo)入分析儀器進(jìn)行金屬成分的測(cè)量,特種氣體供應(yīng)商,一般需要把氣體樣品先進(jìn)行液體化,哪里有特種氣體,即將含有金屬雜質(zhì)的氣體樣品捕集到溶液中,以該溶液為樣品,才能選定合適的檢測(cè)手段進(jìn)行分析。由于高純氣體中的金屬雜質(zhì)含量低至ppb至ppt級(jí),因此,對(duì)測(cè)定時(shí)使用的取樣方法(防止樣品污染)、檢測(cè)方法以及分析測(cè)試儀器(靈敏度和檢測(cè)限等)均提出了更高的操作要求。本文綜述了電子氣體中金屬雜質(zhì)的一些捕集方法以及幾種不同的檢測(cè)方法。

電子特種氣體種類多樣行業(yè)集中度高,細(xì)分領(lǐng)域整合開(kāi)啟進(jìn)口替代新征程。2016 年全球半導(dǎo)體行業(yè)用電子特種氣體市場(chǎng)規(guī)模達(dá)到 36.8 億美元,寧波特種氣體,同比增長(zhǎng) 5.7%;國(guó)內(nèi)方面集成電路用電子特種氣體需求約為 25 億元,預(yù)計(jì)到 2020 年將突破 68 億元。電子特種氣體行業(yè)集中度高,以美國(guó)空氣化工、美國(guó)普萊克斯、德國(guó)林德集團(tuán)、法國(guó)液化空氣和日本大陽(yáng)日酸株式會(huì)社為首的五大氣體公司占有全球 90%以上的電子特種氣體市場(chǎng)份額。

特種氣體種類也很多,主要分為四類,即高純氣體、零點(diǎn)氣體、標(biāo)準(zhǔn)混合氣體以及一般混合氣體。特種氣體是指那些在特定領(lǐng)域中應(yīng)用的,特種氣體批發(fā),對(duì)氣體有特殊要求的純氣,高純氣或由高純單質(zhì)氣體配制的二元或多元混合氣。化工特種氣體在不同的情況下是不一樣的,一般而言是氧氣,氮?dú)猓趸迹瑲錃獾取L胤N氣體有很多種,若說(shuō)泛指各種鋼瓶裝的氣體用途很廣無(wú)法細(xì)說(shuō),就我專注的電子氣體來(lái)說(shuō)一說(shuō)好了,電子氣體指是用在半導(dǎo)體、面板、LED、太陽(yáng)能制造時(shí)用的氣體.

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